Микросварка

Микросварка от Pro-azs

Микросварка (соединение деталей толщиной менее 0,5 мм), как и традиционная сварка, представляет собой процесс соединения твердых материалов, который происходит либо в жидкой фазе (сварка плавлением), либо в твердой фазе (сварка давлением и термодавлением).

Микросварку плавлением обычно выполняют с использованием для локального нагрева и расплавления соединяемых материалов сфокусированной энергии лазерного излучения (лазерная сварка), пучка электронов (электроннолучевая сварка) или ионов (плазменная сварка). При этих способах сварки плавлением желателен лишь теплофизический контакт между деталями в зоне сварки.
 

Получение сварного соединения в твердой фазе основано на взаимной диффузии материалов в зоне их «идеального» механического контакта, который может быть создан только при пластической деформации контактируемой зоны «холодных» деталей. Очевидно, что сравнительно простая (в техническом смысле) сварка давлением малопригодна в производстве малогабаритных и миниатюрных узлов. Однако деформация свариваемых деталей в случае их нагрева до температуры, не превышающей температуру плавления свариваемых материалов, может быть значительно уменьшена при одновременном ускорении процесса сварки.

Для подогрева зоны микросварки, осуществляемой термодавлением, на практике используют теплоту нагреваемого сдавливающего инструмента (термокомпрессионная сварка), энергию ультразвука (ультразвуковая сварка) или энергию электрического тока.

Термокомпрессионную сварку обычно применяют при производстве полупроводниковых приборов и микросхем для соединения не теплоемких деталей: тонких (0,5-5 мкм) пленок и микропроводов (10-150 мкм).

Для достаточного прогрева зоны сварки более толстых деталей, входящих к тому же в теплоемкие узлы, обычно используют энергию электрического тока. В процессе электрической сварки давлением прогрев зоны сварки осуществляется Джоулевым теплом, выделяемым электрическим током на сопротивлении этой зоны. Из электрических видов сварки термодавлением в производстве малогабаритных и миниатюрных изделий наибольшее применение получила контактная микросварка.